檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "微影製程".ckeyword (精準) and cdept.raw="化學工程系"
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厚膜光阻 (Thick-film photoresist)可用於製作高深寬比的結構,普遍廣泛應用於LIGA微機械加工技術,製作MEMS微電機系統元件或微結構等。負型厚膜光阻可應用於積體電路後段IC封…
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糖尿病為一種全球常見的疾病,病徵包含胰島素缺乏與高血糖。糖尿病主要影響身體內器官引起長期損害與功能障礙的現象,並伴隨著許多併發症,如同:心臟病、腎衰竭與失明等。目前最為廣泛發展的電化學葡萄糖生物感測…
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本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針,其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向,在光罩設計方面,我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣,本製程包含三道光罩…
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本研究利用半導體黃光微影技術,以石英為基材,製作壓電式IDA微金電極,IDA微金電極之線寬與長度分別為7.894 μm與2245.3 μm。本論文研究分成三部分:(1) 以二氧化矽保護層與四氟化碳 …